专利名称 | 二维电动位移平台 | 申请号 | CN200810051119.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN101339914 | 公开(授权)日 | 2009.01.07 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明(设计)人 | 宋志;李树峰;刘亚忠;高跃红;郑福志 | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 专利有效期 | 二维电动位移平台 至二维电动位移平台 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种二维电动位移平台,该位移平台的Y向马达固定于基台 上,Y向动台置于基台的Y向导轨上,Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接; X向动台置于Y向动台的X向导轨上;X向马达固定于基台上;X向过渡台置 于基台的X向导轨上,X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接;Y向过渡台 置于X向过渡台的Y向导轨上;连动杆一端与X向动台固定连接,另一端与Y 向过渡台固定连接。本发明X向马达置于基台之上,使得运动部件质量得到大 幅降低,在马达驱动力矩不变的情况下,实现了大加速度,从而提高了平台的 位移速度。 |
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