| 专利名称 | 二维电动位移平台 | 申请号 | CN200810051119.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101339914 | 公开（授权）日 | 2009.01.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 宋志;李树峰;刘亚忠;高跃红;郑福志 | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 专利有效期 | 二维电动位移平台 至二维电动位移平台 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种二维电动位移平台，该位移平台的Y向马达固定于基台 上，Y向动台置于基台的Y向导轨上，Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接； X向动台置于Y向动台的X向导轨上；X向马达固定于基台上；X向过渡台置 于基台的X向导轨上，X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接；Y向过渡台 置于X向过渡台的Y向导轨上；连动杆一端与X向动台固定连接，另一端与Y 向过渡台固定连接。本发明X向马达置于基台之上，使得运动部件质量得到大 幅降低，在马达驱动力矩不变的情况下，实现了大加速度，从而提高了平台的 位移速度。 |
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