| 专利名称 | 车载乙醇检测的SnO2薄膜及其制备方法 | 申请号 | CN200810126442.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101329357 | 公开（授权）日 | 2008.12.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 李民强;黄家锐;王俊海;刘锦淮 | 主分类号 | G01N33/98(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N33/98(2006.01)I;G01N27/12(2006.01)I | 专利有效期 | 车载乙醇检测的SnO2薄膜及其制备方法 至车载乙醇检测的SnO2薄膜及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了车载乙醇检测的SnO2薄膜及其制备方法，车载乙醇 检测的SnO2薄膜主要包括硅衬底、电极层、薄膜敏感材料层三层。其 中敏感材料层主要由SnO2半导体氧化物材料薄膜构成，电极层为梳状 电极，采用电沉积并辅以DNA调控制备纳米膜工艺在梳状电极上生成 锡的纳米量级氧化物薄膜，然后进行金掺杂及退火，制备出纳米晶粒氧 化锡薄膜。本发明制备的氧化锡薄膜具有颗粒度小、比表面积大、表面 均匀、对汽车里易挥发性气体乙醇的检测有较高的灵敏度且响应恢复快 等特点。该制备方法具有可在各种结构复杂的基体上均匀有序沉积，可 精确控制沉积层的厚度、化学组成和结构等特点，制作设备投资少，工 艺简单，操作容易。 |
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