| 专利名称 | 薄膜太阳能电池的制作方法及系统 | 申请号 | CN201210360688.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102903791A | 公开（授权）日 | 2013.01.30 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 | 发明（设计）人 | 刘壮;肖旭东;顾光一;贺凡 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 薄膜太阳能电池的制作方法及系统 至薄膜太阳能电池的制作方法及系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及薄膜太阳能电池的制作方法及系统。一种薄膜太阳能电池的制作方法包括以下步骤：在衬底上设定定位标记和分割轨迹；在衬底上沉积钼背电极，并根据所述定位标记进行定位，完成第一次划线；在所述钼背电极上依次沉积铜铟镓硒光吸收层、缓冲层和高阻层，并根据所述定位标记进行定位，完成第二次划线；在所述高阻层上沉积窗口层，并根据所述定位标记进行定位，然后完成第三次划线，形成电池样片；及根据所述定位标记进行定位，对所述电池样片按照裁剪的轨迹进行裁剪，形成薄膜太阳能电池。上述薄膜太阳能电池的制作方法，可以制作出所需形状的、子电池面积相等的薄膜太阳能电池。 |
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