一种有源静电电场探头

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专利名称 一种有源静电电场探头 申请号 CN201110228907.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102411095A 公开(授权)日 2012.04.11 申请(专利权)人 中国科学院空间科学与应用研究中心 发明(设计)人 全荣辉;韩建伟;张振龙;黄建国;封国强;李宏伟 主分类号 G01R29/12(2006.01)I IPC主分类号 G01R29/12(2006.01)I;G01R29/24(2006.01)I 专利有效期 一种有源静电电场探头 至一种有源静电电场探头 法律状态 授权 说明书摘要 本发明涉及一种有源静电电场探头。所述探头包括前端探头和电荷传感器,所述前端探头包括感应金属片(1),所述感应金属片(1)下方设置有环形的压电薄膜(2),该压电薄膜(2)通过相应的环形导电环(3)经电阻(14)与第一转接头(9)连接;所述感应金属片(1)上加有静电电压,并通过导引电极(4)经电阻(14)与第二转接头(17)连接。本发明的有源静电电场探头,其测量精度仅依赖于感应金属片电荷分辨率,其精度得到进一步提高;测量反应时间仅依赖于感应金属片受到电场作用时间,因此测量反应快;而且其结构简单,成本低廉,适用于真空转接环境。

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