p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法

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专利名称 p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法 申请号 CN200810240351.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101752444A 公开(授权)日 2010.06.23 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 张小宾;王晓亮;肖红领;杨翠柏;冉军学;王翠梅;李晋闽 主分类号 H01L31/075(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/075(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法 至p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及无机光电技术领域,公开了一种p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法,该p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构包括衬底、低温氮化镓成核层、非有意掺杂氮化镓缓冲层、n型掺杂InxGa1-xN层、非掺杂i层InyGa1-yN量子点结构和p型掺杂InxGa1-xN层。本发明采用InxGa1-xN三元合金材料和量子点结构,利用该合金带宽可调节的优点,结合量子点超晶格结构的优势,通过严格控制生长条件,得到高质量的以InyGa1-yN量子点为i层和InxGa1-xN为势垒层的p-i-n结构材料,从而可在理论上达到63%的极限转换效率。

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