| 专利名称 | 一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法 | 申请号 | CN201010033715.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101748366A | 公开（授权）日 | 2010.06.23 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 张建明;郭传飞;刘前 | 主分类号 | C23C14/14(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/14(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 专利有效期 | 一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法 至一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法。其中制备超细晶金属薄膜的方法包括以下步骤：步骤1)选取基底，对其进行清洗和干燥处理；步骤2)采用物理气相沉积工艺，生长一层金属In，Sn，Zn或Bi薄膜；步骤3)表面氧化步骤2)的薄膜；重复步骤2)和步骤3)，直至薄膜达到所需厚度。采用本发明的方法所获得的金属或合金薄膜的晶粒尺寸在5nm-50nm，并且工艺简单可控、产品尺寸形貌均一、成本低廉，无需将现有设备进行改动即可得到超细晶薄膜。 |
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