| 专利名称 | 带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列 | 申请号 | CN200920311648.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201514283U | 公开（授权）日 | 2010.06.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 焦斌斌;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 主分类号 | G01J5/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J5/02(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列 至带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及用于获取并转换红外信号的传感元件，尤其涉及一种带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列，本实用新型由外框和内框构成，该内框为网格状，设置在所述的外框内，形成多个镂空单元；每个镂空单元内设置一个微悬臂梁单元，该微悬臂梁单元与构成镂空结构的内框或外框相连接，所有的微悬臂梁单元与内框采用相同的材料且一体成型。 |
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