一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器

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专利名称 一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器 申请号 CN200910076561.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101769936A 公开(授权)日 2010.07.07 申请(专利权)人 中国科学院电子学研究所 发明(设计)人 赵湛;杜利东;方震;韩有君 主分类号 G01P5/12(2006.01)I IPC主分类号 G01P5/12(2006.01)I;G01P5/08(2006.01)I 专利有效期 一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器 至一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器,涉及传感器技术,包括:热式测量风速部分,其双端固支悬梁支撑热线电阻,热线电阻用作测量,风吹热线后热线电阻发生变化,通过测量热线电阻的变化测量风速,热线电阻对小风速的测量有很高灵敏度。还包括:机械式测量风速部分,其薄板是迎风结构,敏感梁用作测量,风吹薄板使敏感梁弯曲,通过测量敏感梁弯曲程度来测量不同方向风作用力大小;应变传感器覆于敏感梁上,把梁弯曲信号转变为可测量电信号。本发明传感器是用热式和机械式两种原理结合测量风速,对大小风速都具高灵敏度;封装体积小。可广泛用于国防航空、气象环境、交通运输、工业制造、农业生产等方面。

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