半导体基底

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专利名称 半导体基底 申请号 CN201190000055.2 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN202513135U 公开(授权)日 2012.10.31 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 尹海洲;朱慧珑;骆志炯 主分类号 H01L21/74(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/74(2006.01)I 专利有效期 半导体基底 至半导体基底 法律状态 说明书摘要 一种半导体基底,包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括隔离结构,以隔离至少两个有源区;其特征在于,所述半导体基底还包括:修正半导体区,所述修正半导体区嵌于至少部分数目的所述有源区中,所述修正半导体区材料与所述半导体衬底材料不同,且所述修正半导体区的上表面至少与所述有源区的上表面齐平,所述修正半导体区的下表面高于所述隔离结构的下表面。本实用新型去除了穿过隔离结构进行横向扩散的掺杂离子,保证了半导体器件的阈值电压稳定。

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