专利名称 | 一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 | 申请号 | CN201210172083.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102747334A | 公开(授权)日 | 2012.10.24 | 申请(专利权)人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明(设计)人 | 宋伟杰;魏铁峰;杨晔;张贤鹏;黄金华;兰品军;朱科 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 至一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法,将制得的浆料通过成型、冷等静压的方法得到陶瓷胚体,再通过调节烧结过程中的升温程序得到高质量的靶材,然后通过磁控溅射方法得到含钛共掺杂的氧化锌基导电薄膜,所得到的导电薄膜具有高的折射率,在硅基薄膜太阳能电池中应用可以提升与硅薄膜折射率的匹配度,减小光在界面处的反射,进而提高电池效率。该方法制备含钛共掺杂氧化锌基透明导电薄膜所用的原料便宜,操作简单,适于规模生产,具有良好的太阳电池及光电应用前景。 |
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