一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法

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专利名称 一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 申请号 CN201210172083.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102747334A 公开(授权)日 2012.10.24 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 宋伟杰;魏铁峰;杨晔;张贤鹏;黄金华;兰品军;朱科 主分类号 C23C14/35(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I 专利有效期 一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 至一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 法律状态 授权 说明书摘要 本发明公开了一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法,将制得的浆料通过成型、冷等静压的方法得到陶瓷胚体,再通过调节烧结过程中的升温程序得到高质量的靶材,然后通过磁控溅射方法得到含钛共掺杂的氧化锌基导电薄膜,所得到的导电薄膜具有高的折射率,在硅基薄膜太阳能电池中应用可以提升与硅薄膜折射率的匹配度,减小光在界面处的反射,进而提高电池效率。该方法制备含钛共掺杂氧化锌基透明导电薄膜所用的原料便宜,操作简单,适于规模生产,具有良好的太阳电池及光电应用前景。

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