| 专利名称 | 三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片 | 申请号 | CN200810038824.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101303424 | 公开（授权）日 | 2008.11.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 段微波;刘定权;张凤山 | 主分类号 | G02B5/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/20(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I | 专利有效期 | 三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片 至三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片，包括：本发明的光 谱阶跃式集成滤光片通过改变间隔层中微区光学厚度的办法，采用三腔结构， 结合真空镀膜技术和半导体离子束刻蚀工艺，实现多通道带通滤光片于同一基 片的集成。该集成滤光片能广泛用于航空航天遥感仪器的多(高)光谱密集获 取。本发明的多通道微型阶跃集成滤光片具有的优点是：通道光谱矩形度好， 分光效率高；采用组合刻蚀的方法，成品率较传统的逐一集成的滤光片有很大 提高；可以在微小区域形成多个光谱通道，能够实现空间位置和光谱位置的准 确定位，易于实现高光谱。 |
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