| 专利名称 | 基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统 | 申请号 | CN201010172118.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101876540A | 公开（授权）日 | 2010.11.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 侯溪;伍凡;万勇建;吴永前;吴高峰;杨鹏 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统 至基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统包括相移干涉仪、标准镜头、由多个光学元件或元件组构成的多波前透镜补偿器、电控调整装置及驱动器、被测非球面光学元件、六维调整架、电控平移台及驱动器、计算机控制及数据处理系统。本发明通过多次干涉测量实现误差分离以提高非球面光学元件面形检测精度，同时具有一定的柔性测量范围，具有较大的应用价值。 |
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