| 专利名称 | 一种大口径非球面镜检测系统 | 申请号 | CN200810104089.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101261183 | 公开（授权）日 | 2008.09.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 谢意;陈强;伍凡 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大口径非球面镜检测系统 至一种大口径非球面镜检测系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种大口径非球面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪，小孔滤波器，双计算 全息图，被测非球面镜，大、小型五维调整架；双计算全息图由主全息和对准全息两部分图 形组成，双计算全息图固定在小型五维调整架上，并与菲索型干涉仪、小孔滤波器一起置于 大型五维调整架上，观察对准全息的干涉图形可判断主全息的调整状态，在实现主全息精确 对准的前提下，保持双计算全息图和菲索型干涉仪的相对位置不变，通过调整大型五维调整 架调整主全息相对被测非球面镜的位置，小孔滤波器可将双计算全息图衍射的杂散光滤除， 提高干涉条纹的对比度，从而实现对被测非球面镜的高精度检测，该检测系统为大口径非球 面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。 |
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