中阶梯光栅光谱仪、原子发射光谱仪及光谱测试方法

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专利名称 中阶梯光栅光谱仪、原子发射光谱仪及光谱测试方法 申请号 CN201210310554.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102879091A 公开(授权)日 2013.01.16 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 陈少杰;宁春丽;崔继承;巴音贺希格;齐向东;唐玉国 主分类号 G01J3/28(2006.01)I IPC主分类号 G01J3/28(2006.01)I;G01J3/443(2006.01)I;G01N21/71(2006.01)I 专利有效期 中阶梯光栅光谱仪、原子发射光谱仪及光谱测试方法 至中阶梯光栅光谱仪、原子发射光谱仪及光谱测试方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种中阶梯光栅光谱仪、基于中阶梯光栅光谱仪的原子发射光谱仪、及原子发射光谱仪进行光谱测试的方法。本发明采用中阶梯光栅作为主色散元件;光源发出的光线经聚光镜聚焦在入射针孔,入射针孔出射光束经准直镜准直后入射到中阶梯光栅进行主色散,然后入射到交叉色散棱镜进行横向色散,交叉色散后经聚焦镜成像在CCD的像面上;通过改变交叉色散棱镜的入射角度,实现了200nm-900nm波段范围内的快速测量,具有宽波段、高分辨率、高灵敏度、低噪声、小体积的优点。实验结果表明本发明测试简便、灵敏度高、试样消耗量少、可实现宽波段多元素的快速测量。

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