| 专利名称 | 一种微型光辐射探测器的制作方法 | 申请号 | CN200810050498.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101246052 | 公开（授权）日 | 2008.08.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 梁中翥;方伟;梁静秋 | 主分类号 | G01J5/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J5/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微型光辐射探测器的制作方法 至一种微型光辐射探测器的制作方法 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) | 说明书摘要 | 本发明涉及一种微型光辐射探测器的制作方法，包括以下步骤：制备衬底；在衬底一个表 面沉积加热丝；在加热丝表面沉积绝缘层；在绝缘层的上表面生长辐射吸收材料；将热敏电 阻粘接于衬底的另一表面。本发明体积小、热容小；加热丝电阻大，引线电阻影响可忽略不 计；热敏电阻灵敏度高，可探测的动态范围大。采用本发明方法制作的微型光辐射探测器结 构简单，尺寸及质量都得到了很好的控制，可以作为航天器上新型内置定标基准源，也可以 应用于其它热辐射探测领域。 |
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