| 专利名称 | 弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法 | 申请号 | CN201210418835.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102879608A | 公开（授权）日 | 2013.01.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 车录锋;周晓峰;王跃林 | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/125(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法 至弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：基于具有双器件层的含氧硅基片所形成的边框、双面对称的质量块、及一边连接边框、另一边连接质量块的弯折形弹性梁，其中，在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽，且处于不同平面的弯折形弹性梁交错分布、在空间上不重叠。由于弯折形弹性梁的弯折次数、梁总长、梁总宽可基于需要来确定，故本发明能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器，灵活性大。 |
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