| 专利名称 | 一种真空腔内转动部件的定位装置 | 申请号 | CN201210390288.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102881547A | 公开（授权）日 | 2013.01.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司 | 发明（设计）人 | 王佳;刘训春;席峰;夏洋 | 主分类号 | H01J37/244(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/244(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空腔内转动部件的定位装置 至一种真空腔内转动部件的定位装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种真空腔内转动部件的定位装置，属于微电子技术领域。所述装置包括：激光反射装置、密封部件、腔体外玻璃密封件和密封框架；激光反射装置位于反应室内，并与密封框架的顶端通过螺纹连接；密封框架由下向上装入反应室，并通过螺钉与反应室固定连接；腔体外玻璃密封件与密封框架的底端通过螺纹连接；反应室与密封框架连接之处设置有密封部件；腔体外玻璃密封件与密封框架底端连接之处设置有密封部件和玻璃。本发明的定位装置用于溅射台中，特别是在有污染和高温的真空环境下，可以实现高速转动部件的高精度定位，且装置结构简单、成本低廉、可操作性强、精度高及维护性好。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障