| 专利名称 | 光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置 | 申请号 | CN201210375341.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102865822A | 公开（授权）日 | 2013.01.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 王潇洵;谭向全;黄剑波;马俊林;孙强 | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置 至光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置属于光栅检测领域，光栅尺的尺板位于工作台水平面，第一基准光栅尺和第二基准光栅尺位于工作台两侧，与光栅尺尺板平行；平行光管位于工作台的一侧，丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；第一反射镜固定在滑台上，光电读数头固定在滑台的一侧，光栅尺读数头固定在滑台内，计算机与丝杠和光电读数头连接。本发明通过自动非接触式检测光栅尺绝对码道刻线的定位精度、宽度、复制缺欠，在线实时检测选择合格光栅尺尺板，以保证光栅尺所需的精度要求。 |
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