| 专利名称 | 一种制备交叉结构有机分子器件的方法 | 申请号 | CN200710062984.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101232077 | 公开（授权）日 | 2008.07.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 涂德钰;刘明;谢常青;朱效力;贾锐 | 主分类号 | H01L51/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L51/00(2006.01)I;H01L51/40(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 专利有效期 | 一种制备交叉结构有机分子器件的方法 至一种制备交叉结构有机分子器件的方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及微电子学与分子电子学中的微细加工技术领域，公开了一 种制备交叉结构有机分子器件的方法，该方法包括：A.在基片表面上淀 积电介质薄膜；B.在电介质薄膜表面上旋涂抗蚀剂，利用X射线光刻和 显影在抗蚀剂上得到电极图形；C.淀积金属，剥离得到下电极金属图形； D.生长有机分子薄膜；E.淀积上电极金属材料；F.旋涂抗蚀剂，X射 线光刻并显影，得到上电极图形；G.以抗蚀剂为掩蔽刻蚀，得到上电极； H.去胶，完成交叉有机分子器件的制备。利用本发明，有效地改善了交 叉结构有机分子器件的制备。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障