单结铟镓氮太阳能电池结构及制作方法

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专利名称 单结铟镓氮太阳能电池结构及制作方法 申请号 CN200710062978.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101232050 公开(授权)日 2008.07.30 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 王晓亮;肖红领;杨翠柏;胡国新;冉学军;王翠梅;张小宾;李建平;李晋闽 主分类号 H01L31/042(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/042(2006.01)I;H01L31/068(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 单结铟镓氮太阳能电池结构及制作方法 至单结铟镓氮太阳能电池结构及制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种单结铟镓氮太阳能电池结构,其特征在于, 其中包括:一衬底;一低温氮化镓成核层,该低温氮 化镓成核层制作在衬底的上面,该成核层可增加衬底 表面的成核密度;一非有意掺杂氮化镓缓冲层,该非 有意掺杂氮化镓缓冲层制作在低温氮化镓成核层的上 面,该缓冲层可减少外延层的缺陷密度,提高晶体质 量;一n型掺杂InxGa1-xN层,该n型掺杂InxGa1-xN 层制作在非有意掺杂高阻氮化镓缓冲层的上面,该n 型掺杂层是InxGa1-xN p-n结的一部分;一p型掺杂 InxGal-xN层,该p型掺杂InxGa1-xN层制作在n型掺 杂InxGa1-xN层的上面,该p型掺杂层是InxGa1-xN p-n 结的一部分。

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