| 专利名称 | 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器 | 申请号 | CN200710062982.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101229910 | 公开（授权）日 | 2008.07.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 焦斌斌;李超波;陈大鹏;叶甜春 | 主分类号 | B81B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B7/02(2006.01)I;G01J5/02(2006.01)I;G01J5/38(2006.01)I | 专利有效期 | 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器 至一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及红外成像技术领域，公开了一种非制冷红外成像焦平面阵 列探测器，该探测器由微悬臂梁单元采用顺序平铺的方式构成，所述微悬 臂梁单元包括热变形结构、红外吸收结构和支撑梁；所述热变形结构有两 组，分别位于红外吸收结构的两侧，每组热变形结构一端连接于支撑梁， 另一端连接于红外吸收结构；所述红外吸收结构包括光学检测板和红外透 过板，且二者通过锚爪固定连接；所述热变形结构连接于红外吸收结构的 光学检测板，与红外吸收结构的光学检测板分布于同一平面上。利用本发 明，解决了图形区硅衬底对红外线反射的问题，提高了探测灵敏度和对入 射红外线的吸收率。 |
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