| 专利名称 | 分体式钽坩埚及其制造方法 | 申请号 | CN200710175320.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101220521 | 公开（授权）日 | 2008.07.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 陈小龙;鲍慧强;王刚;王文军;李龙远;李辉 | 主分类号 | C30B35/00(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B35/00(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I;F27B14/10(2006.01)I | 专利有效期 | 分体式钽坩埚及其制造方法 至分体式钽坩埚及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种经碳化处理的分体式Ta坩埚及其制造方法，其 中本发明的分体式Ta坩埚，包括分别经碳化处理的坩埚盖、坩埚筒和 圆凸台的坩埚底，圆凸台的坩埚底具有上凸台和下底座，其中坩埚筒 与圆凸台坩埚底的上凸台分体进行配合。本发明分体式坩埚的各部件 分别经石墨在高温下进行处理，从而获得坩埚部件表面上均为TaC的 坩埚部件，由此坩埚部件配合形成的坩埚成本低廉、寿命长，易于操 作，具有重要的工业应用价值。 |
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