| 专利名称 | 燃料电池极板的MEMS制造方法 | 申请号 | CN201110134239.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102800872A | 公开（授权）日 | 2012.11.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李春龙;赵超 | 主分类号 | H01M4/88(2006.01)I | IPC主分类号 | H01M4/88(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 燃料电池极板的MEMS制造方法 至燃料电池极板的MEMS制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种燃料电池极板的MEMS制造方法，包括：在衬底上形成垫氧层；在所述垫氧层上形成垫氮层；蚀刻所述垫氮层和所述垫氧层，以形成硬掩模图形；以所述硬掩模图形为掩模，蚀刻所述衬底，在所述衬底的上表面上形成未贯穿所述衬底的多个微孔，所述多个微孔构成台面微结构；采用填充物以部分填充所述多个微孔，继续蚀刻其余微孔，直至形成贯穿所述衬底的多个穿孔；去除所述填充物、垫氧层、垫氮层，完全暴露所述衬底；在所述衬底的整个表面上形成绝缘层；在所述绝缘层的上表面上形成电极层。依照本发明的燃料电池极板的MEMS制造方法，相对于现有技术，减少了工艺步骤，降低了制造和时间成本，提高了加工精度及其相应的可靠性。 |
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