倒装GaInP/GaAs/Ge/Ge四结太阳能电池及其制备方法

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专利名称 倒装GaInP/GaAs/Ge/Ge四结太阳能电池及其制备方法 申请号 CN201210249532.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102790116A 公开(授权)日 2012.11.21 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 李奎龙;董建荣;赵勇明;孙玉润;于淑珍;杨辉 主分类号 H01L31/0687(2012.01)I IPC主分类号 H01L31/0687(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 倒装GaInP/GaAs/Ge/Ge四结太阳能电池及其制备方法 至倒装GaInP/GaAs/Ge/Ge四结太阳能电池及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种倒装GaInP/GaAs/Ge/Ge四结太阳能电池包括支撑衬底,以及在所述支撑衬底表面依次设置的Ge或InGaAs的键合层、第二Ge子电池、第一隧穿结、第一Ge子电池、第二隧穿结、GaAs子电池、第三隧穿结、GaInP子电池和GaAs接触层。本发明还提供一种倒装GaInP/GaAs/Ge/Ge四结太阳能电池的制备方法,包括步骤:1)提供一GaAs衬底;2)在GaAs衬底表面生长依次生长Al0.3Ga0.7As或GaInP的牺牲层、GaAs接触层、GaInP子电池、第三隧穿结、GaAs子电池、第二隧穿结、第一Ge子电池、第一隧穿结、第二Ge子电池和Ge或InGaAs的键合层;3)提供一支撑衬底;4)将支撑衬底键合至Ge或InGaAs的键合层表面;5)从GaAs接触层处将GaAs衬底及Al0.3Ga0.7As或GaInP的牺牲层剥离以去除GaAs衬底及Al0.3Ga0.7As或GaInP的牺牲层。

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