SOI MOS器件的建模方法

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专利名称 SOI MOS器件的建模方法 申请号 CN201210248270.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102789530A 公开(授权)日 2012.11.21 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 卜建辉;毕津顺;罗家俊;韩郑生 主分类号 G06F17/50(2006.01)I IPC主分类号 G06F17/50(2006.01)I 专利有效期 SOI MOS器件的建模方法 至SOI MOS器件的建模方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种SOI?MOS器件的建模方法,其中该SOI?MOS器件为源漏注入不到底的SOI?MOS器件,该方法包括:a)建立包含模拟源漏注入到底的SOI?MOS器件的初级MOS器件模型以及模拟源体PN结底面电容的源体PN结底面电容模型和模拟漏体PN结底面电容的漏体PN结底面电容模型的总体模型;b)对总体模型中的初级MOS器件模型和源体PN结底面电容模型和漏体PN结底面电容模型分别进行参数提取。本发明提供的建模方法考虑源漏注入不到底的SOI?MOS器件中源体结底面电容以及漏体结底面电容对于器件性能的影响,提高了模型的精确度,能够有效的运用于对器件的仿真设计。

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