| 专利名称 | 一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置 | 申请号 | CN201210304174.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102788562A | 公开（授权）日 | 2012.11.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 贾辛;徐富超;谢伟民;邢廷文 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置 至一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置，将待测镜放置在二维平移台上，计算机控制二维平移台使待测镜在平面上进行二维运动，待测镜两个侧面放置反射镜，同时反射镜对面放置测长干涉仪系统，测长干涉仪系统通过五路激光，测出待测镜二维运动后的x，y方向的定位误差和x，y方向的倾斜，测长干涉仪系统将测量数据反馈到计算机，利用子孔径位置补偿算法来将x，y方向的定位误差和x，y方向的倾斜误差带入算法中去拼接计算。本发明在原有的子孔径拼接算法基础上，通过测量子孔径拼接过程中的定位、倾斜误差并带入算法来提高测量精度。 |
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