| 专利名称 | 一种组合等离子体放电装置 | 申请号 | CN200920246503.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201515547U | 公开（授权）日 | 2010.06.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 张朝前;杨景华;赵玲利;王守国 | 主分类号 | H05H1/24(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/24(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 专利有效期 | 一种组合等离子体放电装置 至一种组合等离子体放电装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种组合等离子体放电装置，包括一个位于中间的平板之间的放电和两侧的滚轴之间的放电，该平板之间的放电是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成；该滚轴之间的放电位于该平板放电的两侧，具有多组滚轴之间的放电组。利用本实用新型，可产生不同的等离子体放电频率和强度，通过集成这些不同放电区域，可实现对材料表面的综合处理。 |
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