米级尺寸激光玻璃铂金颗粒检测仪及其检测方法

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专利名称 米级尺寸激光玻璃铂金颗粒检测仪及其检测方法 申请号 CN201210286097.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102830124A 公开(授权)日 2012.12.19 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 陈力;李韦韦;陈伟;胡丽丽 主分类号 G01N21/896(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/896(2006.01)I 专利有效期 米级尺寸激光玻璃铂金颗粒检测仪及其检测方法 至米级尺寸激光玻璃铂金颗粒检测仪及其检测方法 法律状态 授权 说明书摘要 一种米级尺寸待测激光玻璃铂金颗粒检测仪及其检测方法,所述的待测激光玻璃铂金颗粒检测仪包括检测光源、光束变束移位机构、待测激光玻璃工作台和控制系统,检测光源由多台Nd:YAG激光器组成,光束变束移位机构包含多路光束变束移位模块构成,待测激光玻璃置于待测激光玻璃工作台上,控制系统控制多台Nd:YAG激光器所输出的激光经过各自对应的光束变束移位模块垂直地辐照在所述的待测激光玻璃的大面上,控制系统通过电机驱动待测激光玻璃工作台的水平移动导轨的运动,带动所述的待测激光玻璃运动,以实现对所述的待测激光玻璃的铂金颗粒快速扫描,检测人员通过眼睛进行观察判断。本发明的特点是快速直观。

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