高频内匹配功率器件的封装方法

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专利名称 高频内匹配功率器件的封装方法 申请号 CN201210319726.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102832145A 公开(授权)日 2012.12.19 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 罗卫军;陈晓娟;杨成樾;刘新宇 主分类号 H01L21/60(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I 专利有效期 高频内匹配功率器件的封装方法 至高频内匹配功率器件的封装方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 公开了一种高频内匹配功率器件的封装方法,包括:将内匹配电路通过金锗合金共晶在管壳内;将功率器件和输入输出匹配电容通过金锡合金共晶在管壳内;将功率器件、输入输出匹配电容及内匹配电路通过金丝电学互连;将内匹配电路和管壳管脚通过金带电学互连。本发明提供的一种高频内匹配功率器件的封装方法,采用两级LCL输入匹配的封装方式,降低了输入匹配电路的Q值,从而增大了内匹配功率器件的带宽、增益和输出功率,此外,本发明分别采用金锡、金锗将高频功率器件、陶瓷电容和匹配电路共晶在管壳内,保证了物理连接的牢固性,并增加了功率器件的热导率。

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