| 专利名称 | 挡板 | 申请号 | CN201220222967.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202595339U | 公开（授权）日 | 2012.12.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院深圳先进技术研究院;香港中文大学 | 发明（设计）人 | 罗海林;肖旭东;顾光一 | 主分类号 | C30B25/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B25/02(2006.01)I | 专利有效期 | 挡板 至挡板 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种挡板，包括用于启闭源炉开口的第一遮挡层和第二遮挡层、连接第一遮挡层和第二遮挡层的连接杆，第一遮挡层和第二遮挡层位于源炉开口的同一侧且第二遮挡层较第一遮挡层远离源炉开口。上述挡板，在源炉温度较高时，只会使第一遮挡层具有较高的温度，第二遮挡层的温度相对较低，不会使沉积在第二遮挡层的杂质散发，不会影响衬底上合成材料的质量。 |
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