专利名称 | 一种氮化钒刀具涂层及其制备方法 | 申请号 | CN201210293633.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102785422A | 公开(授权)日 | 2012.11.21 | 申请(专利权)人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明(设计)人 | 黄峰;葛芳芳;李艳玲;朱萍 | 主分类号 | B32B9/04(2006.01)I | IPC主分类号 | B32B9/04(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 专利有效期 | 一种氮化钒刀具涂层及其制备方法 至一种氮化钒刀具涂层及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种纤维结构的氮化钒刀具涂层,该氮化钒刀具涂层中的氮化钒晶粒呈纤维状紧密排列,平均粒径为5-100nm,晶粒长度大于200nm,长度和粒径比大于2,在保证较低摩擦系数的同时,能够保证具有较高的硬度,特别适合作为刀具润滑涂层。本发明还公开了一种纤维状结构的VN刀具涂层的制备方法,包括以下步骤:基体清洗;沉积涂层:在真空室中,V靶安装在中频阴极上,通入N2气,通过调节V靶的功率和N2的流量,在400℃~600℃和0.3Pa~1.0Pa条件下,对基体溅射沉积得到纤维结构的VN刀具涂层,其可操作性强、可控性好、易于工业化生产,具有较好的经济效益。 |
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