一种氮化钒刀具涂层及其制备方法

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专利名称 一种氮化钒刀具涂层及其制备方法 申请号 CN201210293633.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102785422A 公开(授权)日 2012.11.21 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 黄峰;葛芳芳;李艳玲;朱萍 主分类号 B32B9/04(2006.01)I IPC主分类号 B32B9/04(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 专利有效期 一种氮化钒刀具涂层及其制备方法 至一种氮化钒刀具涂层及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种纤维结构的氮化钒刀具涂层,该氮化钒刀具涂层中的氮化钒晶粒呈纤维状紧密排列,平均粒径为5-100nm,晶粒长度大于200nm,长度和粒径比大于2,在保证较低摩擦系数的同时,能够保证具有较高的硬度,特别适合作为刀具润滑涂层。本发明还公开了一种纤维状结构的VN刀具涂层的制备方法,包括以下步骤:基体清洗;沉积涂层:在真空室中,V靶安装在中频阴极上,通入N2气,通过调节V靶的功率和N2的流量,在400℃~600℃和0.3Pa~1.0Pa条件下,对基体溅射沉积得到纤维结构的VN刀具涂层,其可操作性强、可控性好、易于工业化生产,具有较好的经济效益。

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