| 专利名称 | 一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其型线设计 | 申请号 | CN200610155911.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101210557 | 公开（授权）日 | 2008.07.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 王光玉;张振厚;刘坤;秦柏林 | 主分类号 | F04C18/14(2006.01)I | IPC主分类号 | F04C18/14(2006.01)I | 专利有效期 | 一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其型线设计 至一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其型线设计 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及罗茨泵设计，具体地说是一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其型 线设计。为多级转子组安装在中心轴上，两中心轴上的转子组相互啮合时两转子腰部 圆弧啮合的最小距离δ在0.08mm～0.14mm之间；其转子组分为三部分：左转子块、 销轴和右转子块，左、右转子块与销轴之间采用销孔定位、螺栓连接；所述转子块整 体外轮廓线全部由圆弧组成，即由外圆面、两个腰部圆面和内圆面组成；所述多级转 子组级间转子厚度按从进气口端到出气口端的方向按比例递减。本发明具有加工工艺 简单、成本低，零件通用性强、适用于IC装备等特点。 |
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