| 专利名称 | 在不锈钢上制备薄膜的方法 | 申请号 | CN200810142996.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101768724A | 公开（授权）日 | 2010.07.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 张俊彦;王舟;宋仕永;张斌 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I | 专利有效期 | 在不锈钢上制备薄膜的方法 至在不锈钢上制备薄膜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种低摩擦高承载长寿命不锈钢/类金刚石/有机薄膜复合结构涂层制备方法。本发明采用磁控溅射气相沉积技术，先在不锈钢基底上沉积一层Ti过渡层，再沉积类金刚石碳薄膜，然后用有机分子(十八烯)对其表面进行修饰。该方法容易操作，制备的薄膜均匀，薄膜具有优良的摩擦磨损特性。 |
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