| 专利名称 | 多自由度可替换型电极机构 | 申请号 | CN201220376531.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202737311U | 公开（授权）日 | 2013.02.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 陈进新;王宇 | 主分类号 | H01S3/038(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/038(2006.01)I | 专利有效期 | 多自由度可替换型电极机构 至多自由度可替换型电极机构 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种多自由度可替换型电极机构，用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，该电极机构包括传动机构和安装在该传动机构上的多个电极，该传动机构用于使该多个电极的每一个移动到所述电极工作位置。该电极机构还可包括位于所述电极工作位置的下方的调节机构，用于调节处于电极工作位置的电极在垂直方向的位置和倾斜角度。所述传动机构可为履带式结构，其包括主动轮、从动轮和围绕主动轮和从动轮的履带，所述多个电极安装于所述履带上。本实用新型能实现电极在多个自由度的运动，达到不打开放电腔就能调整电极的位置和角度的效果，确保气体激光器的放电腔具有优良的放电性能，延长放电腔的使用寿命。 |
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