采用多弧离子镀制备以Cr2 AlC为主相的高温防护涂层的方法

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专利名称 采用多弧离子镀制备以Cr2 AlC为主相的高温防护涂层的方法 申请号 CN201210352858.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102899612A 公开(授权)日 2013.01.30 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 李美栓;李静静;刘智谋;钱余海;徐敬军 主分类号 C23C14/06(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I 专利有效期 采用多弧离子镀制备以Cr2 AlC为主相的高温防护涂层的方法 至采用多弧离子镀制备以Cr2 AlC为主相的高温防护涂层的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及高温防护涂层的制备技术,特别提供了一种采用多弧离子镀制备以Cr2AlC为主相的新型高温防护涂层的方法。采用原位固液相反应/热压方法合成的块体Cr2AlC作为靶材;或者以Cr、Al、C三种元素粉按照摩尔比为2:1.1~1.2:0.9~1.2混合粉作为初始原料,经热压制成的致密块体作为靶材。在背底真空为2×10-3Pa、Ar气流量为20~40SCCM、工作气压为0.2~0.6Pa、施加在靶材上的电流为50~70A的条件下,在不同的基体上可以制备得到非晶的Cr-Al-C涂层。所制备的涂层经620°C~650°C、Ar气保护下退火10~20h即可得到以Cr2AlC为主相的Cr-Al-C涂层。这种方法具有制备成本低、工艺简单、沉积速率高的优点,解决了现有的Cr2AlC涂层制备成本高且无法实现大规模生产的问题。

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