| 专利名称 | 基于ZnO纳米线的自供电振动传感器及其制造方法 | 申请号 | CN201110207775.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102889925A | 公开（授权）日 | 2013.01.23 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 王中林;于爱芳;江鹏 | 主分类号 | G01H11/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G01H11/06(2006.01)I | 专利有效期 | 基于ZnO纳米线的自供电振动传感器及其制造方法 至基于ZnO纳米线的自供电振动传感器及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种自供电振动传感器，包括：悬臂梁；悬臂梁上的自供电振动传感器元件，其中自供电振动传感器元件包括：上电极和下电极；上电极和下电极之间的介电层；多条具有压电效应的纳米结构，位于介电层中，所述纳米结构与上电极和下电极绝缘，并与上电极或下电极大致平行。本发明还提供了一种自供电振动传感器装置和自供电振动传感器的制造方法。 |
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