| 专利名称 | 变间距电镀槽套件 | 申请号 | CN201220306380.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202688491U | 公开（授权）日 | 2013.01.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 孙云飞;王懋;吴东岷 | 主分类号 | C25D17/00(2006.01)I | IPC主分类号 | C25D17/00(2006.01)I | 专利有效期 | 变间距电镀槽套件 至变间距电镀槽套件 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种变间距电镀槽套件，包括电镀槽箱体、靶材架和样品架，所述的电镀槽箱体上设置有可精确调节和量测靶材架与样品架之间距离的位置标记；该变间距电镀槽套件通过靶材架和样品架的夹持装置与电镀槽箱体位置标记固定配合，可精确调节和量测靶材架与样品架之间距离，更精确的对样品进行电镀。 |
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