| 专利名称 | 一种微波匀胶装置及匀胶方法 | 申请号 | CN201210148730.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102641823A | 公开（授权）日 | 2012.08.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王磊;景玉鹏 | 主分类号 | B05C5/02(2006.01)I | IPC主分类号 | B05C5/02(2006.01)I;B05C11/08(2006.01)I;B05D3/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微波匀胶装置及匀胶方法 至一种微波匀胶装置及匀胶方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及利用微波能干燥半导体的技术领域，具体涉及一种微波匀胶装置。所述微波匀胶装置，包括微波谐振腔、微波源、波导管、电机、真空泵和控制面板；微波源固定在控制面板的控制电路上，微波源通过波导管与微波谐振腔连接；微波谐振腔内设有真空吸盘，真空泵通过管路与真空吸盘的吸嘴相连，电机的输出轴与真空吸盘连接；微波谐振腔上端为拉门式封闭头，拉门式封闭头上设有光刻胶滴管。本发明还提供一种微波匀胶方法。本发明集预烘、匀胶、干燥于一体，在微波照射过程中，光刻胶自身发热，在溶剂挥发的同时光刻胶整体处于熔融状态，极大的改善了胶膜的表面平坦化，其后续精准曝光度也会大大提高。同时本发明的干燥时间较短，降低了能量消耗。 |
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