| 专利名称 | 一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法 | 申请号 | CN201210154197.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102651535A | 公开（授权）日 | 2012.08.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 朱洪亮;潘教青;赵玲娟;王宝军;王圩 | 主分类号 | H01S5/22(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/22(2006.01)I;H01S5/12(2006.01)I | 专利有效期 | 一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法 至一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法，该双波长分布反馈集成激光器用于探测CO与CH4的浓度，该方法包括：在掺杂磷化铟衬底上制作长条形介质掩膜图形；在掺杂磷化铟衬底上外延生长有源增益区和复合光栅层，在该复合光栅层上制作光栅；在该光栅上外延生长掺杂磷化铟盖层和重掺杂欧姆接触层，并制作串行条形波导结构或并行条形波导耦合结构；其余按标准激光器管芯工艺和光纤耦合工艺完成后续制作，得到双波长分布反馈集成激光器。利用本发明提供的方法制作的双波长分布反馈集成激光器，结合目前通用的宽谱红外探测器及电路处理技术，能够将CO和CH4两种气体浓度的检测合并于同一仪器内，实现对CO与CH4两种气体浓度的快速检测和预警。 |
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