| 专利名称 | 固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法 | 申请号 | CN200710046739.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101165006 | 公开（授权）日 | 2008.04.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 陈健;黄政仁;刘学建 | 主分类号 | C04B41/91(2006.01)I | IPC主分类号 | C04B41/91(2006.01)I;C04B35/565(2006.01)N | 专利有效期 | 固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法 至固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法，属于表面 处理技术领域，包括下述步骤，将装满NaOH的Ni坩埚放入马弗炉或 者可控温设备中加热升温至550℃以上，保持该温度；或直接将碳化 硅样品放入装满NaOH的Ni坩埚中直接加热，浸泡时间为30秒～20 分钟，腐蚀后样品用稀盐酸清洗，然后去离子水清洗后干燥。 |
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