三维多芯片封装模块和制作方法

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专利名称 三维多芯片封装模块和制作方法 申请号 CN200710048038.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101159259 公开(授权)日 2008.04.09 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 吴燕红;徐高卫;罗乐 主分类号 H01L25/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L25/00(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 专利有效期 三维多芯片封装模块和制作方法 至三维多芯片封装模块和制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提出了一种基于印制电路板实现三维立体高密度封装的多芯片 模块结构(3D-MCM)。在封装基板上加工制作出独特的腔体结构,用于放置 芯片和分布电路连接走线,从而形成立体封装结构。回型球栅阵列(BGA) 的引脚输出形式的设计,既满足了对模块I/O数目的要求又为腔体的设计提 供了空间。多个芯片的互连采用了传统的引线键合和新型的芯片倒装方法相 结合的方式。这种多芯片模块集多种封装技术于一体,有效地提高了封装密 度,减少了封装尺寸,缩短了互连距离。

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