| 专利名称 | 一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用 | 申请号 | CN200410053563.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1587022 | 公开（授权）日 | 2005.03.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李四华;吴亚明 | 主分类号 | B81B5/00 | IPC主分类号 | B81B5/00;B81C1/00;G02F1/19;G02B6/26 | 专利有效期 | 一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用 至一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种微机电系统扭转镜面驱动器、制 作方法及应用。其特征在于所述的扭转微镜面位于上电极和下 电极构成的隔离空间内，其扭转的角度随驱动器的上电极和下 电极施加的电压调节。其制作方法是利用MEMS中的光刻、 腐蚀、键合、溅射和等离子硅深刻蚀技术制作一种工艺简单可 行，利用静电精密驱动，光插入损耗小，驱动电压低的可用于 反射式可调光衰减器的扭转微镜面驱动器。该种微镜面驱动器 相对于现有MEMS技术制作出的镜面驱动器，有体积小、工 艺简单、驱动电压低、可靠性高，响应速度快和利于集成的优 点。 |
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