| 专利名称 | 基于AFM的纳米沟道加工方法 | 申请号 | CN201010138121.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102211754A | 公开（授权）日 | 2011.10.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 发明（设计）人 | 焦念东;王志迁;董再励 | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B82B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 基于AFM的纳米沟道加工方法 至基于AFM的纳米沟道加工方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种基于AFM的纳米沟道加工方法。通过控制AFM探针的伸长距离、探针运动速度及路径，实现在二氧化硅基底上加工出特定深度和宽度的纳米沟道。本发明的纳米沟道加工方法可应用于微流控芯片制造中，通过纳米沟道实现对沟道内流体特性及生物单分子的特性分析。 |
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