原位微区结构分析与性质测试联合系统

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专利名称 原位微区结构分析与性质测试联合系统 申请号 CN200410070112.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1587977 公开(授权)日 2005.03.02 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 白雪冬;王恩哥;薛其坤;王中林;陈东敏 主分类号 G01N13/10 IPC主分类号 G01N13/10;G01N27/00;G01N23/225 专利有效期 原位微区结构分析与性质测试联合系统 至原位微区结构分析与性质测试联合系统 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种原位微区结构分析与性质测 试联合系统,包括透射电子显微镜和扫描探针显微镜,扫描探 针显微镜包括机械系统和电子学系统,机械系统安装在与透射 电子显微镜样品杆外形尺寸一致的气密的空心杆内,对探针(或 样品)的位置在透射电镜中可观测的空间范围内进行调节,电子 学系统控制机械系统工作并对所测信号进行处理。本系统将透 射电子显微镜和扫描探针显微镜的优势集于一身,实时记录材 料微区原子结构和原位物性,将微区物性与其微观结构直接对 应起来,能可视地操纵扫描探针显微镜的双探针(或样品),并 对样品进行位置调节和物性测量,可针对个别纳米结构进行再 重入和定位测量。

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