| 专利名称 | 翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法 | 申请号 | CN200410066370.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1588602 | 公开（授权）日 | 2005.03.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 焦继伟;邢向龙;王跃林 | 主分类号 | H01H59/00 | IPC主分类号 | H01H59/00;H01P1/10 | 专利有效期 | 翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法 至翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种翘曲膜结构的单刀双掷射频和 微波微机械开关及其制作方法。由第一基板上的第一凹部、位 于第一凹部底部以及第一基板表面上的第一波导线、第一凹部 底部的第一吸引电极、第一基板表面上的转换导体、第二基板 上的第二凹部、位于第二凹部底部以及第二基板表面上的第二 波导线、第二凹部底部的第二吸引电极、悬于第一凹部和第二 凹部之间的翘曲弹性介质膜、翘曲弹性介质膜上的驱动导电膜 以及其上的第二介质膜构成的复合膜组成。翘曲弹性介质膜内 含有不大于100MPa的预置压应力。在稳定状态，复合膜与某 一路波导线表面接触，使该路信号保持断开，复合膜与另一路 波导线分开，使该路信号保持导通。具有状态锁存功能又无静 态功耗特点。 |
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