| 专利名称 | 采用硅支撑梁的红外热电堆探测器阵列结构及制作方法 | 申请号 | CN200410053913.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1588661 | 公开（授权）日 | 2005.03.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李铁;王翊;王跃林 | 主分类号 | H01L35/00 | IPC主分类号 | H01L35/00;G01J1/02;G01J5/10;H01L31/09 | 专利有效期 | 采用硅支撑梁的红外热电堆探测器阵列结构及制作方法 至采用硅支撑梁的红外热电堆探测器阵列结构及制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种采用硅支撑梁的红外热电堆探 测器阵列结构，其特征在于利用硅支撑梁结构取代原有各个器 件单元间的硅框架以实现高密度的红外热电堆探测器阵列结 构。周边硅框架不变，膜区的间距在20－ 700μm之间。本发 明可利用无掩膜腐蚀工艺实现，且发明在保证器件结构稳定、 性能优异的前提下，大大减小了单元器件的间距，从而提高了 器件的占空比，有利于器件的大密度集成，同时其具有工艺简 单、一致性好、重复性好、成品率高、易批量生产等特点，特 别适用于制作大批量高密度的红外热电堆探测阵列。 |
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