| 专利名称 | 微型实心硅针阵列芯片及其制备方法和用途 | 申请号 | CN200310122500.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1569271 | 公开（授权）日 | 2005.01.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 徐百;高云华 | 主分类号 | A61M37/00 | IPC主分类号 | A61M37/00 | 专利有效期 | 微型实心硅针阵列芯片及其制备方法和用途 至微型实心硅针阵列芯片及其制备方法和用途 | 法律状态 | 专利实施许可合同的备案 | 说明书摘要 | 本发明属于透皮药物释放器件领域，特别涉及一 种以单晶硅为材料制作的微型实心硅针阵列芯片，以及利用微 机电加工(Microelectromechanical systems：MEMS)技术制作微 型实心硅针阵列芯片的方法和用途。利用光刻、湿蚀刻和等离 子体干蚀刻及镀膜等微机电加工(MEMS)技术制作微针实心阵 列芯片。在微针的侧面开有侧槽，结合双面对准光刻技术，在 实心微针的背面制作了一个至多个储药池，储药池与实心微针 面相连接可以增加给药量。本发明工艺简单，实心微针耐用性 好，特别适用于生物大分子药物的透皮药物释放。 |
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