激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器

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专利名称 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 申请号 CN200410018167.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1570604 公开(授权)日 2005.01.26 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 黄惠杰;梁春雷;任冰强;赵永凯;杜龙龙 主分类号 G01N15/14 IPC主分类号 G01N15/14 专利有效期 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 至激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 法律状态 专利申请权、专利权的转移 说明书摘要 一种激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器,其 特征在于其构成包括:在激光光源组件的光束前进方向上依次 设有柱面镜、球面反射镜和光陷阱,该激光光源组件输出的椭 圆形光束的截面的长轴方向与母线成一定角度φ;置于柱面镜 右侧的球面反射镜,且使光敏感区和光电探测器光敏面的位置 分别位于该球面反射镜球心附近的两侧,并满足几何光学的物 像关系;置于光电探测器前面且与光敏感区形状相匹配的视场 光阑;光电探测器采用高灵敏度的光电二极管,或金属封装的 微型光电倍增管;安装固定在光学传感器散射腔外壳上且具有 与散射光脉冲频谱宽度一致的带通型前置放大电路。本发明具 有体积小、结构简单、信噪比高、粒径分辨率高、计数效率高 的特点。

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