| 专利名称 | 一种音叉式微机械陀螺及其制作方法 | 申请号 | CN200410016930.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1559882 | 公开（授权）日 | 2005.01.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 车录锋;熊斌;王跃林 | 主分类号 | B81B7/02 | IPC主分类号 | B81B7/02;B81C1/00;G01C19/56;G01C25/00 | 专利有效期 | 一种音叉式微机械陀螺及其制作方法 至一种音叉式微机械陀螺及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种音叉式微机械陀螺及其制作方 法。微机械陀螺主它是由第一基板及其上的四组驱动用条形固 定对电极和两组检测用条形固定对电极、固定在第一基板上的 中间锚点和两侧锚点、悬在第一基板上方的第二基板组成；第 二基板包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称的驱动 质量块、中间锚点与驱动质量块相连接的第一弹性梁、两侧锚 点与驱动质量块相连接的第二弹性梁、连接两个驱动质量块的 耦合弹性梁、可沿垂直于驱动方向的检测方向振动的两个检测 质量块、检测质量块与驱动质量块之间的连接弹性梁组成。本 陀螺采用微电子机械系统技术制作，采用变面积电容实现驱动 和检测，驱动和检测方向均具有滑膜阻尼，灵敏度较高，是一 种实用的微机械陀螺。 |
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