聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法

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专利名称 聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法 申请号 CN200310122607.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1552887 公开(授权)日 2004.12.08 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 赵建龙;邹志青;周天;陈飞;徐元森 主分类号 C12P19/34 IPC主分类号 C12P19/34;C12Q1/25 专利有效期 聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法 至聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种聚合酶链式反应微芯片的结构 设计及制作方法。结构设计特征在于以硅片作为芯片的基片, 在硅片正面刻蚀微池,上面键合Pyrex硼硅玻璃,形成密闭的 微腔;玻璃上有进出孔,微型的加热器和温度待热器在硅片反 面。其制作特征在于包括PCR微芯片的制作和PCR微芯片的 封装两部分。采用倒装焊接工艺很容易实现PCR微芯片阵列, 在同一块PCB板上倒装焊接多个相同的PCR微芯片,形成PCR 微芯片阵列。本发明优点在于提供的PCR微芯片结构设计体 积小,热容低,同时集成了微型加热器和温度传感器;封装采 用IC工艺的倒装焊法且有利于PCR微芯片陈列的制作。

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